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風(fēng)淋室在MEMS試驗(yàn)平臺(tái)上的應(yīng)用.

最近，deiiang在朋友的指導(dǎo)下參觀了MEMS試驗(yàn)平臺(tái).

據(jù)相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，近千平方米的風(fēng)淋室是微機(jī)電制造的主戰(zhàn)場(chǎng)，根據(jù)工藝流程分為光刻區(qū)、蝕刻區(qū)、薄膜區(qū)、擴(kuò)散區(qū)、注入?yún)^(qū)和封裝試驗(yàn)區(qū).

筆者在160套以上的一流制造機(jī)之間來回奔波，高大上的氣息撲面而來.

而且，在進(jìn)入這個(gè)工廠之前，必須通過風(fēng)淋室進(jìn)行風(fēng)淋除塵后才能進(jìn)入.

MEMS中試平臺(tái)整體的潔凈度等級(jí)分為class10、100、1000、10000、10000，潔凈度最嚴(yán)格的是光刻區(qū)，根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)，即使是看不見肉眼的灰塵，一立方米的空氣中最多只存在幾粒.

，，在MEMS中，試驗(yàn)平臺(tái)的專業(yè)性也反映在對(duì)環(huán)境的嚴(yán)格要求上.

溫度應(yīng)始終保持在23度，上下不應(yīng)超過1度，濕度應(yīng)為45%，上下不應(yīng)超過5%.

進(jìn)入該平臺(tái)的心臟——潔凈室前，所有人都必須須一套防塵服，手套、口罩當(dāng)然也需要裝備.

不要以為這樣就可以簡(jiǎn)單地進(jìn)入.

身份登記和隨身物品清洗后，為了確保掃除塵土，必須面對(duì)手臂風(fēng)淋室中的8個(gè)風(fēng)淋噴嘴進(jìn)行10秒的吹風(fēng)清洗.

，保持潔凈，除了實(shí)時(shí)監(jiān)控和定期潔凈，還有一個(gè)隱藏在地板下面的秘密.

其實(shí)我們現(xiàn)在看到的機(jī)臺(tái)只有冰山一角，其附屬設(shè)備中也有埋入在地板下的，例如冷卻機(jī)、氣箱、泡沫管等.

工作人員表示，將機(jī)臺(tái)部分身體埋起來，可以有效減少灰塵的堆積.

仔細(xì)觀察，地板上分布著很多小孔.

這些小孔是為了使灰塵隨著空氣層從上到下流向地下排出的獨(dú)特設(shè)計(jì).

這也是潔凈室中最常見的送風(fēng)方式，隨時(shí)隨著各種潔凈度要求的提高，對(duì)MEMS試驗(yàn)平臺(tái)的潔凈要求也比較高，這要求組合使用的風(fēng)淋室必須滿足相關(guān)要求.